Latar belakang klien
Sebuah perusahaan semikonduktor fabless outsourcing produksi chip node canggihnya.Kamar bersih mereka yang ada tidak bisa memenuhi persyaratan getaran dan kemurnian udara yang ketat untuk litografi perendaman 193nm, menyebabkan kehilangan hasil.
Kebutuhan & Tantangan
·ISO Kelas 5 (Kelas 100) di permukaan wafer.
·Kontrol suhu yang ketat: 22 ± 0,1°C di seluruh ruang fotolitografi.
·Waktu henti yang singkat: Hanya 1 bulan tersedia untuk memodifikasi ruang yang ada.
Solusi
·Desain lingkungan mini: Mengisolasi stepper dengan unit filter kipas (FFU) ditambah filter kimia untuk AMC. Mencapai ISO 4 di dalam amplop alat.
·Isolasi getaran aktif: Blok inersia beton + isolator pneumatik untuk memenuhi kriteria VC-D.
·HVAC presisi tinggi: Lutung air dingin ganda dengan pemanasan ulang, ditambah terminal volume udara variabel (VAV).
·Panel prefabrikasi: Panel stainless steel yang diproduksi di luar lokasi dengan sendi cam-lock.
![]()
![]()
Umpan Balik Klien
Yaning memahami kebutuhan alat kami lebih baik dari kontraktor kamar bersih lainnya.
Manajer Fasilitas, Klien Semikonduktor
Ringkasan
Yaning mengkhususkan diri dalam bidang teknik cleanroom. Kami berdedikasi untuk menciptakan lingkungan produksi bersih yang secara langsung meningkatkan efisiensi manufaktur.Solusi modular kami merupakan pilihan ideal untuk zona produksi bersih dalam sektor manufaktur.